CCD-A型超高真空電動插板閥系列

■CCD-A型超高真空電動插板閥為新研制的超薄閥

  門，是以步進電機為動力，采用螺紋絲桿傳動機

  構推（拉）動閥芯組件做直線運動，從而控制閥門的

  開啟或關閉，其開啟或關閉位置任意可調。該系

  列插板閥適用于工作介質為空氣及非腐蝕性氣體

  的場合，配有觸動開關，控制閥門的開閉位置。

■CCD-A型超高真空電動插板閥型號有：CCD-

  50A、CCD-63A、CCD-80A、CCD-100A、CCD-

  150A、  CCD-200A、  CCD-250A、  CCD-320A、

  CCD-400Ao

■閥門標準接口形式有：CF、ISO-F、ISO- K三種。

型號

CC-50A

CCQ-50A

CC-63A

CCQ-63A

CC-80A

CCQ-80A

CC-100A

CCQ-100A

CCD-100A

CC-150A

CCQ-150A

CCD-150A

借口法蘭

CF/IOS-F/IOS-K

公稱通徑

DN50

DN63

DN80

DN100

DN150

適用范圍(Pa)

105~10-7

105~10-7

105~10-7

105~10-7

105~10-7

漏率(Pa·m3/s)

≤1.3X10-10

≤1.3X10-10

≤1.3X10-10

≤1.3X10-10

≤1.3X10-10

驅動方式

手動

氣動

手動

氣動

手動

氣動

手動

氣動

電動

手動

氣動

電動

工作氣壓(MPa)

/

03~0.4

/

0.4~0.5

/

0.4~0.5

/

0.4~0.5

/

/

0.4~0.5

/

工作電壓(V)

/

/

/

/

/

/

/

/

24≤DC≤90

/

/

24≤DC≤90

烘烤溫度(°C)

開

150

150

150

150

150

關

120

120

120

120

120

安裝方向

任意

任意

任意

任意

任意